爪式泵的整機(jī)型式分為立式和臥式兩種。臥式構(gòu)造以英國愛德華公司開發(fā)的一級羅茨轉(zhuǎn)子加上三級爪形轉(zhuǎn)子的 DP80 型機(jī)械真空泵為代表 ( 見圖 29) 。羅茨轉(zhuǎn)子為高真空吸氣級，爪形轉(zhuǎn)子為壓縮排氣級，這么組織能夠在低進(jìn)口壓力下得到大抽氣速率。其極限壓力可達(dá) 1Pa 以下。
    這種構(gòu)造的泵特點是整機(jī)重心低，各級轉(zhuǎn)子與隔板之間的空隙易于調(diào)整。為了在低壓下取得較大抽速，泵的羅茨吸氣級要做得比爪形排氣級大 50 ％。為了防止泵在粗抽時期發(fā)生組間“過壓”，在羅茨及中心爪型級之間設(shè)有較大的傳輸空間作為壓力緩沖空間。別的還能夠裝置級間過壓安全閥以確保作業(yè)牢靠。為了有助于抽除水蒸汽，在泵的排氣級設(shè)置了氣鎮(zhèn)閥。泵的傳動型式與羅茨真空泵一樣。

  立式構(gòu)造爪式真空泵是由德國萊寶公司主要開發(fā)制作的。圖 30 為立式構(gòu)造爪式泵構(gòu)造簡圖。
    圖 30 所示為四級爪形轉(zhuǎn)子串聯(lián)構(gòu)造。泵的轉(zhuǎn)子軸及電機(jī)均為豎直裝置，泵進(jìn)氣口在上面，排氣口在泵下部，泵殼帶有水冷套，以下降泵軸承及軸封處的溫度。榜首級泵腔為吸氣級，其吸氣容積比后邊三級要大，構(gòu)成級間壓縮。四對轉(zhuǎn)子裝在二根平行軸上，軸由上下兩頭軸承支承，電動機(jī)倒豎裝置，經(jīng)過渡齒輪將動力傳遞到轉(zhuǎn)子軸上，轉(zhuǎn)子軸由一對同步時限齒輪股動及調(diào)整和固定轉(zhuǎn)子的相位。泵腔級與級之間有隔板，隔板上有級間氣體通道。氣體的進(jìn)氣口和排氣口均開在隔板端面上，分別由兩個轉(zhuǎn)子端面守時開閉，具有閥門調(diào)節(jié)作用。當(dāng)泵腔的一部分正在壓縮氣體和排氣時，另一部分則翻開進(jìn)口，吸入氣體。每一級都是氣體進(jìn)口在上，出口鄙人，與臥式泵對比，這種氣流傳輸?shù)缆芳氨脴?gòu)造是有利于抽除富含塵埃和帶有懸浮微粒的氣體，并且軸向返流小。

 
當(dāng)泵在某些生成微粒量很大，乃至反響生成腐蝕性氣體的出產(chǎn)技術(shù)中使用時 ( 如 PCVD 技術(shù)中多晶硅膜的制備和半導(dǎo)體刻蝕等 ) ，能夠經(jīng)過向泵內(nèi)引進(jìn)清潔氣體的方法處理此類技術(shù)進(jìn)程的抽氣疑問。引進(jìn)的氣體一般為惰性氣體 ( 例氮氣 ) 。為了使被抽除氣體中的微粒在泵內(nèi)傳輸進(jìn)程中堅持懸浮狀況和避免它們在泵腔內(nèi)堆積，則引進(jìn)的清潔氣體的速率 Vgas 有必要遠(yuǎn)大于微粒的自由落體速率 Vterm 。這么，引進(jìn)氣體有必要在泵腔內(nèi)的吸入氣體開端被壓縮曾經(jīng)進(jìn)入，別的引進(jìn)的氣體量應(yīng)當(dāng)足夠大，以使 Vgas 顯著大于 Vterm 。
這意味著應(yīng)當(dāng)在不同級別離引進(jìn)氣體，并且氣體的引進(jìn)流量有必要與各級的壓力比正比，即引進(jìn)氣體流量應(yīng)逐級添加。一般清潔氣體進(jìn)口開在各級泵腔端面的排氣轉(zhuǎn)子一側(cè)，其進(jìn)口方位應(yīng)能由排氣側(cè)轉(zhuǎn)子操控，即可由排氣側(cè)轉(zhuǎn)子進(jìn)行時控。這么能夠削減泵內(nèi)部級間返流，并且也減小了對吸入側(cè)的影響。
使用上述摻氣原理，爪式泵可在化學(xué)工業(yè)、蒸餾、枯燥技術(shù)等出產(chǎn)進(jìn)程中使用。例在某些 CVD 進(jìn)程中反響呈現(xiàn)的易燃易爆氣體能夠用這種方法來抽除。經(jīng)過引進(jìn)惰性氣體 ( 一般為 N2 氣 ) 能夠?qū)⒎错憵怏w的濃度降到可燃性約束值以下。
當(dāng)用爪式泵抽除含化學(xué)溶劑蒸汽或氣體液體混合物時，可在泵排氣口設(shè)置氣體冷卻冷凝器，被壓縮和加熱的技術(shù)氣體經(jīng)過排氣通道進(jìn)入氣體冷卻冷凝器內(nèi)，其間的化學(xué)溶劑或液體被冷凝收回，冷卻后的氣體大部分被排放掉，少數(shù)所需求的處于排氣壓力下的冷卻氣體被泵從頭回抽入泵腔壓縮級，而坐落泵腔排氣級側(cè)的冷卻氣體進(jìn)口在壓縮腔的容積減小進(jìn)程開端前被翻開，冷卻氣體接連流入壓縮腔內(nèi)與從前吸入的技術(shù)氣體混合直至到達(dá)排氣壓力。只有此進(jìn)程完結(jié)后，轉(zhuǎn)子才將排氣口翻開，將混合氣體排到氣體冷卻冷凝器中，進(jìn)行下一次循環(huán)。
為避免因為泵腔內(nèi)進(jìn)入冷卻氣體而添加泵抽除的技術(shù)氣體總量，將泵與氣體冷卻冷凝器構(gòu)成閉循環(huán)的冷卻回路，泵從進(jìn)程中將所需求量的冷卻氣體從冷卻冷凝器的結(jié)尾回抽入壓縮腔。
    在以上抽氣進(jìn)程中，氣體的壓縮效果主要不是由減小泵腔的容積而是由通入冷卻氣體來完結(jié)的，這么可確保在某些技術(shù)進(jìn)程中發(fā)生的液氣混合物或蒸汽在泵的作業(yè)條件下被抽除。
    德國萊寶公司關(guān)于半導(dǎo)體制作技術(shù)所用的爪式泵，從作業(yè)安全和使用方便思考裝備了作業(yè)參量監(jiān)測與操控系統(tǒng)。泵在作業(yè)中的一切有關(guān)的參量，如溫度、壓力、氣體流量等均由外表監(jiān)控并設(shè) CPU 接口，可采用微機(jī)操控。